MEMS(メムス)とはMicro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)の略称。機械・電子・科学など多様な機能を集積した微細デバイスを指す。加速度センサーやシリコン基盤、DNAチップなどがMEMSデバイスと呼ばれる。

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MEMS(メムス)とはMicro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)の略称。機械・電子・科学など多様な機能を集積した微細デバイスを指す。加速度センサーやシリコン基盤、DNAチップなどがMEMSデバイ

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